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集成系統(tǒng)
微電子電子化學(xué)材料系統(tǒng)集成，包括半導(dǎo)體、光刻膠、樹脂生產(chǎn)系統(tǒng)集成。中央控制室可以通過連接到各種傳感器和儀表，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)生產(chǎn)過程中的各個(gè)參數(shù)，如溫度、壓力、液位等，實(shí)現(xiàn)分散控制，集中管理。設(shè)備采用防爆無塵設(shè)計(jì)，耐腐耐堿耐酸，設(shè)備滿足微電子化學(xué)行業(yè)對(duì)設(shè)備潔凈等級(jí)以及設(shè)備表面顆粒數(shù)量的控制要求。模塊化設(shè)計(jì)，維護(hù)成本低；全自動(dòng)配料，運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)控。
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