客戶要求:
隨著中國“芯”計劃的確認(rèn),中國半導(dǎo)體行業(yè)引來蓬勃發(fā)展。客戶車間半導(dǎo)體產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中,對室內(nèi)空氣環(huán)境及品質(zhì)都有極高要求,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,環(huán)境中微粒對半導(dǎo)體的特性有著改變或破壞其性能的作用,如金屬離子會破壞半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電性能,塵埃粒子破壞半導(dǎo)體器件的表面結(jié)構(gòu)等,所以在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中對空氣中的微粒及浮塵都必須嚴(yán)格控制。我公司自建的百級層流實驗中心可以完全滿足客戶對設(shè)備潔凈等級以及設(shè)備表面顆粒數(shù)量的控制要求。
產(chǎn)品特點:
罐內(nèi)拋光要求高,電解拋光精度<=0.2
引入日本進(jìn)口機械攪拌技術(shù),攪拌設(shè)計合理,有效降低機械磨損
專業(yè)攪拌支架及軸承設(shè)計,有效隔絕軸承震動對罐內(nèi)的影響。
進(jìn)口機械密封、防泄漏設(shè)計,相比傳統(tǒng)設(shè)計防泄漏效果更佳,靜音效果更好
純化水清洗、無塵擦拭、無塵包裝,有效控制設(shè)備表面顆粒數(shù)。
使用“中央控制室”,實現(xiàn)投料、反應(yīng)、循環(huán)、出料、過濾、自動SIP/CIP的集中式管理。